ATA-2000系列 高压放大器——压电陶瓷致动器中的典型应用

随着精密工程和微细工程的迅速发展, 亚μm 和nm 级定位技术和微动伺服技术已成为微机电系统（MEMS）、超精密加工、微电子、光电子和生物工程等前沿学科的关键技术。压电陶瓷驱动系统作为理想的nm 微位移元件, 具有体积小、位移分辨率高、频响高、承载力大、无噪声、不发热等特点, 得到了广泛应用。但是由于压电陶瓷的迟滞、蠕变等效应, 给压电陶瓷的控制带来了困难。而驱动放大器则是引起迟滞和蠕变现象最主要的原因之一。因此，压电陶瓷驱动放大器已成为目前压电陶瓷致动器应用中的关键技术之一。

    压电陶瓷致动器一般为堆叠结构。在外电场的作用下，每个压电陶瓷片相当于1个平行板电容器。因此，驱动放大器的负载压电陶瓷致动器为容性负载，其电容量通常达几μF。当存在外加电场时，根据逆压电效应, 压电陶瓷片产生垂直方向和水平方向的变形, 输出位移。在已知压电陶瓷致动器模型的前提下, 通过一定的控制方法和控制算法, 能够使压电致动器的动态响应得到较大提高。

西安安泰电子科技有限公司生产的ATA-2000系列高压放大器提供了DC-2MHz的带宽，170Vpp~1600Vpp的输出电压范围，40mA~500mA的电流输出能力，是精密位移系统中压电陶瓷驱动研发测试的理想选择。